多孔 Al2O3 层在相对湿度传感中的应用
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
电子器件系开发了一种廉价且基本兼容 CMOS 工艺的电容器型相对湿度（RH）传感器。电容式传感器基于薄膜在吸收水蒸气时介电性质的变化，而水蒸气的吸收量取决于周围介质的相对湿度含量。由于巨大的表面积与体积比和丰富的孔隙率，多孔陶瓷可获得极高的灵敏度。其中一种可用的陶瓷是多孔 Al2O3，它是通过铝在阳极偏压下的电化学氧化获得的。平均孔径在 6 至 9 纳米之间。在本文中，我们旨在展示反映工艺参数对多孔结构及器件灵敏度影响的图像。
引用
@article{arxiv.0802.3041,
title = {Usage of Porous Al2O3 Layers for RH Sensing},
author = {Veronika Timár-Horváth and László Juhász and András Vass-Várnai and Gergely Perlaky},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3041},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/EDA-Publishing)