中文

基于LiNbO3薄膜和多孔硅结构的动态湿度传感特性表征

材料科学 2009-05-13 v1 介观与纳米尺度物理

摘要

本文介绍了脉冲湿度变化对Pt/LiNbO3薄膜/Pt:Ti/SiO2/Si和多孔Si/Si结构的动态电流-电压回线、电荷-电压回线以及动态瞬态电流参数影响的研究结果。电流-电压回线和瞬态电流曲线的特征与离子半导体中观察到的空间电荷区极化过程相似。展示了动态电物理表征方法在研究快速湿度变化下各种特性方面的有效性。从高速湿度传感应用的角度对结果进行了讨论。

关键词

引用

@article{arxiv.0905.1788,
  title  = {Dynamical Humidity Sensing Characterization of LiNbO3 Film and Porous Si based Structures},
  author = {S. Bravina and N. Morozovsky and E. Dogheche and D. Remiens and R. Boukherroub},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0905.1788},
  year   = {2009}
}

备注

15 pages,3 figures