面向下一代医学成像及更广泛应用玻璃衬底上的CMUT
应用物理
2018-11-27 v1
摘要
CMUT技术发明于硅衬底上并已在硅衬底上被广泛研究。近年来，在玻璃衬底上制备CMUT引起了显著兴趣，因其可带来若干优势。首先，由于玻璃是绝缘材料，寄生电容可轻易降低。其次，可避免硅基CMUT制备工艺中所需的绝缘步骤，从而降低制备复杂度。第三，当衬底为硼硅玻璃时可使用阳极键合，这是一种低温键合技术，除具备硅片键合的优势外，对键合表面积和粗糙度具有高容忍度。此外，玻璃的透明性可赋能脉冲回波超声医学成像之外的新应用，并扩大CMUT的潜在市场。
引用
@article{arxiv.1811.10386,
title = {CMUT on Glass Substrate for Next-Generation Medical Imaging and Beyond},
author = {Xiao Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1811.10386},
year = {2018}
}