用于水平排列碳纳米管阵列高通量表征的校准绝对光学对比度
应用物理
2024-06-06 v1 光学
摘要
水平排列碳纳米管（HACNT）阵列在纳米电子学和材料科学的各种应用中具有巨大潜力。然而，由于缺乏兼具高效率和准确性的方法，其高通量表征仍然具有挑战性。在这里，我们提出了一种新技术，即校准绝对光学对比度（CAOC），通过实施差分原理来滤除杂散信号，并通过高分辨率校准赋予光学对比度物理意义。CAOC相对于先前的表征技术具有主要优势，能够以高通量和非破坏性评估的方式提供一致且可靠的HACNT阵列密度测量。为了验证其实用性，我们通过快速密度映射展示了晶圆级均匀性评估。该技术不仅促进了HACNT阵列的实际评估，还为在纳米材料表征中平衡高通量和高分辨率提供了见解。
引用
@article{arxiv.2406.03326,
title = {Calibrated absolute optical contrast for high-throughput characterization of horizontally aligned carbon nanotube arrays},
author = {Yue Li and Ying Xie and Jianping Wang and Yang Xu and Shurui Wang and Yunbiao Zhao and Liu Qian and Ziqiang Zhao and Jin Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2406.03326},
year = {2024}
}