SiGe 微测辐射热计热参数的计算
材料科学
2012-08-31 v1 光学
摘要
利用数值模拟计算了 SiGe 微测辐射热计的热参数。计算得到的热导率和热响应时间与实验发现值吻合良好，范围分别在 2x10 至 7x10 W/K 和 1.5 至 4.5 ms 之间。通过拟合支撑散热腿的几何形状，或选择能在 SiGe 界面提供高于 8x10 cmK/W 边界热阻的合适材料，从而优化热响应时间和热导率，实现了微测辐射热计的高灵敏度。
引用
@article{arxiv.1208.6147,
title = {Calculation of thermal parameters of SiGe microbolometers},
author = {A. V. Voitsekhovskii and D. V. Grigoryev and V. A. Yuryev and S. N. Nesmelov},
journal= {arXiv preprint arXiv:1208.6147},
year = {2012}
}
备注
11 pages, 6 figures