利用磁场测量区分分离导线的界限
仪器与探测器
2024-05-22 v1
摘要
磁电流成像（MCI）对于微电子器件的无损表征非常有用，包括安全分析和失效分析，因为磁场能够穿透构成这些组件的材料，实现对芯片活动的透过封装成像。新兴磁场成像仪（如量子金刚石显微镜）所提供的新能力尤为引人关注，它们能够在环境条件下同时提供大视场、高空间分辨率的矢量磁场成像能力。尽管 MCI 在微电子器件功能活动的无损测量方面具有诸多优势，但由于磁场的快速衰减以及在大传感器间隔距离下高频空间信息的丢失，该技术存在许多局限性。为了理解空间分辨率与间隔距离的函数关系，我们考虑了利用磁场区分以下两种情况的问题：(1) 载有电流 的单根导线与同向载有电流 的一对导线；(2) 无电流与反向载有电流 的一对导线。在这两种情况下，我们将代表典型磁力计的单点测量性能与新兴磁成像设备中采用的测量阵列的性能进行了比较。此外，我们研究了测量完整矢量磁场相较于测量单一分量所提供的优势。我们首次基于导线间距和磁场测量的传感器间隔距离，建立并比较了由传统和新型微电子可靠性工具获得的可分离性理论下界。
引用
@article{arxiv.2405.12844,
title = {Bounds on Distinguishing Separated Wires Using Magnetic Field Measurements},
author = {Adrian Mariano and Jacob Lenz and Dmitro Martynowych and Christopher Miller and Sean Oliver},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.12844},
year = {2024}
}