银基望远镜反射镜的氧化铝原子层沉积保护涂层：纯臭氧与水前驱体的比较

尽管银基望远镜反射镜在可见-红外光谱范围内优于金和铝等其他材料，但其需要坚固的保护涂层以克服固有的低耐久性。我们的研究表明，在低温（~60{\deg}C）下使用三甲基铝（TMA）和水（H2O）通过热原子层沉积（ALD）沉积的单层氧化铝（AlOx）是一种可接受的保护涂层，且不会对反射镜的光学性能产生不利影响。虽然带有单层AlOx保护的银基反射镜在现场表现尚可，但在加速潜在失效机制的高温高湿环境测试中，它们迅速退化，表明仍有改进空间。本文描述了一项研究，比较了两组由热ALD使用两类氧前驱体——H2O与纯臭氧（PO）——制备的单层AlOx保护的银基反射镜的性能与耐久性。研究表明，无论氧前驱体类型如何，两类样品初始光谱反射率相当，但在环境测试中，由PO制备的AlOx保护涂层样品的反射率保持近乎恒定的时间是由H2O制备的AlOx保护涂层样品的1.6倍，这暗示了PO制备的AlOx保护涂层具有 promising 的特性。