具有双曲正割场分布的磁电子透镜分析
光学
2015-06-19 v1 加速器物理
摘要
扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 等电子光学成像仪器使用专门设计的螺线管电磁铁来聚焦电子束探针。这些仪器的成像性能指标（如空间分辨率）与磁透镜的聚焦特性密切相关，而后者已被证明是其所产生的轴向磁场空间分布的函数。由于实际透镜设计的复杂性，经验数学表达式被认为便于用于基于物理的聚焦特性计算。因此，此类模型与实际场分布的接近程度决定了计算的准确性。Glaser 和 Ramberg 提出的数学模型在历史上得到了广泛应用。本文讨论了一种具有双曲正割型磁场分布函数的模型，并将这些模型的结果与基于有限元的场模拟结果进行了比较。
引用
@article{arxiv.1405.4653,
title = {Analysis of magnetic electron lens with secant hyperbolic field distribution},
author = {S. S. Pany and Z. Ahmed and B. P. Dubey},
journal= {arXiv preprint arXiv:1405.4653},
year = {2015}
}