基于正入射X射线衍射的薄膜定向与相分数分析的系统方法
材料科学
2025-10-15 v1
摘要
正入射X射线衍射（GIXD）广泛用于薄膜的结构表征，尤其是用于分析相组成和晶体取向分布。虽然已存在各种定性评估工具，但尚未存在一种适用于广泛的系统程序来实现定量信息。本工作提出了一步骤，使得可以通过评估GIXD数据的径向线轮廓来实现准确的定量信息。我们引入了一个算法，用于计算基于已知化合物晶体结构的径向线轮廓。通过拟合实验数据与计算得到的线轮廓，可获得关于取向分布和相组成的准确定量信息，以及诸如取向度和总晶体体积等附加参数。该方法使用三个不同的薄膜系统进行演示，突出了该算法的广泛适用性。该方法提供了一种系统且通用的从GIXD数据中获取定量信息的方法。
引用
@article{arxiv.2503.20625,
title = {A systematic approach for quantitative orientation and phase fraction analysis of thin films through grazing incidence X-ray diffraction},
author = {Fabian Gasser and Sanjay John and Jorid Smets and Josef Simbrunner and Mario Fratschko and Víctor Rubio-Giménez and Rob Ameloot and Hans-Georg Steinrück and Roland Resel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2503.20625},
year = {2025}
}