一种用于金刚石化学气相沉积的简易空间受限 NIRIM 型反应器
应用物理
2018-03-28 v1 材料科学
摘要
本文详细介绍了一种用于金刚石生长的简易、空间受限的化学气相沉积反应器的设计。该反应器基于 NIRIM 的设计，由放置在 2.45 GHz 波导内的石英放电管组成，以创造金刚石亚稳态生长所需的条件。该反应器主要采用现成组件和模块化设计，便于在多次生长运行之间进行修改、维修和清洁。本文给出了反应器设计的各部分细节，并公开了 CAD 文件、零件清单和控制文件，以便于复现。最后，利用 SEM 和 Raman 光谱对所制备的纳米晶金刚石薄膜的质量进行了研究，观察到清晰的刻面和较大的金刚石比例，表明该设计能够以极低的复杂度实现金刚石沉积。
引用
@article{arxiv.1803.09690,
title = {A simple, space constrained NIRIM type reactor for chemical vapour deposition of diamond},
author = {Evan L. H. Thomas and Laia Gines and Soumen Mandal and Georgina M. Klemencic and Oliver A. Williams},
journal= {arXiv preprint arXiv:1803.09690},
year = {2018}
}