一种确定薄膜介电材料高达 60 GHz 宽带复介电常数的方法
应用物理
2019-08-02 v1
摘要
本文描述了一种通过有限元分析和微带线测量确定薄介电膜复介电常数的方法。针对空气填充线和无损耗线两种情况使用了两种传输线等效电路模型，其分布元件可由全波有限元仿真计算。利用这些计算得到的分布元件和微带线测量值，提取了复介电常数。该技术利用一种简单方法将介电损耗从测得的总损耗中分离，并使用测得的传播常数提取复介电常数。采用有理介电模型拟合提取的复介电常数，从而确保最终解的因果性。通过该过程获得的最佳拟合结果被视为最终介电常数结果，其与数据手册值表现出极好的一致性。此外，使用拟合介电常数的仿真与高达 60 GHz 的微带线实验传播常数数据吻合良好。所提方法在聚酰亚胺上进行了演示，并可应用于其他薄膜材料。
引用
@article{arxiv.1908.00128,
title = {A Method to Determine Broadband Complex Permittivity of Thin Film Dielectric Materials up to 60 GHz},
author = {Liang Wang and Guangrui and Xia and Hongyu Yu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1908.00128},
year = {2019}
}