组分梯度与均质 Fe-Pt 薄膜的高通量研究
材料科学
2021-11-02 v1
摘要
通过在 Fe 基底靶上非对称放置一块 Pt，采用磁控溅射在静止的 100 mm Si 衬底上制备了组分梯度 Fe-Pt 薄膜。利用能量色散 X 射线分析（EDX）绘制了随 Pt 块尺寸变化的薄膜组分分布图。采用扫描偏振磁光克尔效应系统探究了组分与沉积后退火条件（温度与时间）对矫顽力的影响。由此得以高通量地确定所用溅射系统可达到的最大矫顽力。矫顽力随组分的演化与 L10 FePt 的形成及其晶格参数的变化相关，这由扫描 X 射线衍射确定。随后对经不同退火条件处理的不同组分均质 Fe-Pt 薄膜进行了高通量矫顽力映射。本研究朝将矫顽 FePt 薄膜集成到集体制备的器件中迈出了一步。
引用
@article{arxiv.2111.00366,
title = {A High Throughput Study of both Compositionally Graded and Homogeneous Fe-Pt Thin Films},
author = {Yuan Hong and Isabelle de Moraes and Gabriel Gomez Eslava and Stephane Grenier and Edith Bellet-Amalric and Andre Dias and Marlio Bonfim and Laurent Ranno and Thibaut Devillers and Nora M. Dempsey},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.00366},
year = {2021}
}