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气泡驱动的微转子:概念、制造、组装与表征

流体动力学 2009-12-17 v1

摘要

在超声激发的微气泡附近,可以产生一种称为微流动的稳定流体流动。在本文中,我们利用该现象来组装并驱动一个微制造转子,其转速高达 625 rpm。可提取功率估计在几飞瓦量级。本文展示了第一系列非控制形状转子的实验,证明了这种新型驱动方案的可能性。随后展示了第二系列实验,使用在 SU-8 树脂中微制造的 65 微米转子。研究了控制转速和转子稳定性的变量,例如气泡直径、声学激发频率与振幅以及转子几何形状。最后,对将这种微转子开发为基于 MEMS 的马达进行了展望,该马达能够在微尺度上提供可调的极微量旋转功率。

关键词

引用

@article{arxiv.0912.3035,
  title  = {A bubble-powered micro-rotor: conception, manufacturing, assembly, and characterization},
  author = {Jonathan Kao and Xiaolin Wang and John Warren and Jie Xu and Daniel Attinger},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0912.3035},
  year   = {2009}
}