用于增强微腔发光二极管光提取的硫化锌覆盖层二维光子晶体
应用物理
2020-09-03 v1
摘要
在准一维(III族氮化物)微腔发光二极管(LED)表面沉积了二维(2D)ZnS光子晶体，以融合两种结构(1D+2D)的光提取特性。对于III族氮化物LED而言，沉积理想微腔光学厚度λ/2是不切实际的，且在现实的多模器件中，大量光作为导光因内部折射而损失。因此，在LED表面采用二维光子晶体来衍射并由此将这种导光从半导体中重定向出来，距离达数百微米。此外，采用外延后ZnS二维光子晶体避免了典型的对GaN:Mg接触层的刻蚀，该工艺可能对近表面造成损伤。
引用
@article{arxiv.2009.01155,
title = {Zinc Sulphide Overlayer Two-Dimensional Photonic Crystal for Enhanced Extraction of Light from a Micro Cavity Light-Emitting Diode},
author = {Michael A. Mastro and Chul Soo Kim and Mijin Kim and Josh Caldwell and Ron T. Holm and Igor Vurgaftman and Jihyun Kim and Charles R. Eddy and Jerry R. Meyer},
journal= {arXiv preprint arXiv:2009.01155},
year = {2020}
}