变光斑离子束修形
仪器与探测器
2016-02-17 v2
摘要
本文介绍了一种离子束修形(IBF)的新方案，即变光斑IBF，其以恒定扫描速度进行，使用由可变光阑准直的变光斑离子束。它旨在通过改变离子束光斑大小而非扫描速度，在机器动力学限制内提高修形过程的可达性和适应性。与常规IBF中的驻留时间算法不同，变光斑IBF采用一种新算法，包括扫描路径规划和利用模式搜索的轨迹优化。在该算法中，提出了一个新概念——积分刻蚀时间，以替代驻留时间来解释变光斑IBF的过程。我们进行了仿真以验证其可行性和实用性。仿真结果表明变光斑IBF是常规方法一个有前景的替代方案。
引用
@article{arxiv.1509.02499,
title = {Variable-spot ion beam figuring},
author = {Lixiang Wu and Keqiang Qiu and Shaojun Fu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.02499},
year = {2016}
}
备注
17 pages, 11 figures, 2 tables