通过平均场原子模型理解多晶薄膜中的本征压应力
材料科学
2020-12-22 v2 介观与纳米尺度物理
摘要
Mullins理论预测了在多晶薄膜表面晶界出露的沟槽边缘处，表面扩散过程中吸附原子的积累。然而，该理论的介观性质阻碍了对该现象所涉及的原子尺度物理机制的识别。在此，我们通过平均场速率方程模型从原子角度解释吸附原子的积累，并证明其动力学性质及其对这些体系本征应力的影响。此外，该模型给出了本征应力的表面分布轮廓、其典型平均值、以及不同生长阶段应力对温度和沉积通量依赖关系的估计。这些估计与近期多晶薄膜表面机械应力纳米尺度测绘进展所报道的实验结果吻合良好。
引用
@article{arxiv.2006.15105,
title = {Understanding the intrinsic compression in polycrystalline films through a mean-field atomistic model},
author = {Enrique Vasco and María J. Ramírez-Peral and Enrique G. Michel and Celia Polop},
journal= {arXiv preprint arXiv:2006.15105},
year = {2020}
}
备注
Accepted version (24 pages with 5 figures)