中文

范德瓦耳斯一维材料 $\mathrm{PdBr_2}$ 的超高击穿电流密度

介观与纳米尺度物理 2023-07-12 v6 材料科学

摘要

一维(1D)范德瓦耳斯(vdW)材料提供了近乎无缺陷的细丝作为场效应晶体管(FET)器件中的沟道材料,并且可能比传统铜具有更好的互连性能,具有更高的电流密度和抗电迁移能力,并可持续缩小尺寸。我们报道了一种新的基于卤化物的“真正”一维少链原子线 PdBr2_2,可从体相中分离出来,其体相结晶于单斜空间群 C2/c。液相剥离得到的纳米线平均长度为 (20±\pm1)μ\mum,转移到 SiO2_2/Si 晶圆上最大长宽比为 5000,证实了垂直于链方向的解理能较低。此外,孤立纳米线可承受 200 MA/cm2^\mathrm{2} 的电流密度,至少比典型铜互连高一个数量级。然而,通过导电原子力显微镜(CAFM)针尖沿单链横向进行的局域输运测量记录到低得多的电流密度,这是由于各向异性的电子能带结构。虽然纳米物体的一维性质可与非平庸的集体量子行为相关联,但 vdW 性质可能有利于在集成电路(IC)中以更好控制放置的方式为互连制造策略提供新途径。

关键词

引用

@article{arxiv.2209.03296,
  title  = {Ultrahigh breakdown current density of van der Waals One Dimensional $\mathrm{PdBr_2}$},
  author = {Bikash Das and Kapildeb Dolui and Rahul Paramanik and Tanima Kundu and Sujan Maity and Anudeepa Ghosh and Mainak Palit and Subhadeep Datta},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2209.03296},
  year   = {2023}
}