超紧凑 Si/In$_2$O$_3$ 混合等离子体波导调制器实现超 40 GHz 高带宽
应用物理
2022-01-19 v1 光学
摘要
光调制器需要具备高调制带宽和小占位面积。本文中，我们实验演示了一种新型 Si/InO 混合等离子体波导调制器，其由包含硅光子波导与 Si/InO 混合等离子体波导的非对称定向耦合器（ADC）实现。光信号由施加于 MOS 电容器顶部 Au 电极并接触 InO 薄膜的射频（RF）信号调制。通过首次在 3.5-m 长的非对称定向耦合器（ADC）中集成无硅掺杂的金属-氧化物-InO 电容器，实现了创纪录的高调制带宽 >40 GHz。
引用
@article{arxiv.2201.06258,
title = {Ultra-compact Si/In$_2$O$_3$ hybrid plasmonic waveguide modulator with a high bandwidth beyond 40 GHz},
author = {Yishu Huang and Jun Zheng and Bingcheng Pan and Lijia Song and Guanan Chen and Zejie Yu and Hui Ye and Daoxin Dai},
journal= {arXiv preprint arXiv:2201.06258},
year = {2022}
}