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TRIAD:一种三重图形光刻感知详细布线器

硬件体系结构 2014-02-14 v1

摘要

三重图形光刻(TPL)友好的详细布线器需要一种系统的方法来检测 TPL 冲突。然而,冲突图(CG)的复杂性阻碍了在 CG 中直接检测 TPL 冲突。本文提出了一种令牌图嵌入冲突图(TECG),以促进 TPL 冲突检测,同时保持高着色灵活性。随后,我们将 TECG 应用于具有 TPL 缝合生成的无网格布线器,开发了一种 TPL 感知详细布线器(TRIAD)。与贪婪着色方法相比,实验结果表明,TRIAD 以 2.41 倍的运行时间为代价,生成了无冲突且极少缝合的布线,同时线长更短。

关键词

引用

@article{arxiv.1402.2906,
  title  = {TRIAD: a triple patterning lithography aware detailed router},
  author = {Yen-Hung Lin and Bei Yu and David Z. Pan and Yih-Lang Li},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1402.2906},
  year   = {2014}
}