一种具有密度平衡特性的高性能三重图形化版图分解器
硬件体系结构
2014-02-13 v1
摘要
三重图形化光刻 (TPL) 作为 14nm/11nm 节点的主要候选方案之一，正受到业界越来越多的关注。本文提出了一种高性能的 TPL 版图分解器。密度平衡被无缝集成到我们 TPL 版图分解的所有关键步骤中，包括密度平衡半定规划 (SDP)、基于密度的映射以及密度平衡图简化。与之前未考虑密度平衡的最先进版图分解器（例如 Yu 等人 (ICCAD'11)、Fang 等人 (DAC'12) 和 Kuang 等人 (DAC'13) 提出的方法）相比，我们的新 TPL 分解器仍能获得高性能。此外，我们分解器的密度平衡版本能够提供更均衡的密度，从而减少边缘放置误差 (EPE)，同时其冲突数和缝合数与我们的非密度平衡基线相比仍然非常接近。
引用
@article{arxiv.1402.2890,
title = {A High-Performance Triple Patterning Layout Decomposer with Balanced Density},
author = {Bei Yu and Yen-Hung Lin and Gerard Luk-Pat and Duo Ding and Kevin Lucas and David Z. Pan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1402.2890},
year = {2014}
}