脉冲 EUV 暴露下纳米粒子瞬态人口动力学
等离子体物理
2025-04-09 v1
摘要
我们利用 3DPIC 模拟研究了在脉冲极端紫外 (EUV) 暴露环境下带电（正或负）及中性纳米粒子的瞬态人口动力学。在仿真初始阶段，所有粒子保持中性状态。随着 EUV 脉冲数目随时间增加，位于束外区域的中性粒子数量以更快速度减少，同时正电粒子的生成也随之增加。然而，少量（< 1%）的中性粒子由于 EUV 光子在束内区域与之相互作用而 becoming positively charged，并在随后保持稳定状态。我们估算了不同纳米尺寸粒子在上述关键脉冲数之上后，束外大多数粒子将呈现负电状态的临界脉冲数。
引用
@article{arxiv.2504.05971,
title = {Transient population dynamics of nanoparticles during pulsed EUV exposures},
author = {M. Chaudhuri and L. C. J. Heijmans and A. M. Yakunin and P. Krainov and D. Astakhov and M. van de Kerkhof},
journal= {arXiv preprint arXiv:2504.05971},
year = {2025}
}