面向晶圆尺度的磁性薄膜与多层膜静磁及动态参数电感测定
仪器与探测器
2013-10-25 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
我们研究了一种适用于晶圆尺度下非侵入式表征磁性薄膜和多层膜静磁及动态参数的电感探头头。该探头基于带有后向高频连接器的平面波导，可与晶圆表面紧密接触。通过矢量网络分析仪铁磁共振进行磁性材料的电感表征。对共振场色散的分析可确定关键材料参数，如饱和磁化强度 MS 或有效阻尼参数 Meff。测试了三种波导设计，表征了其宽带频率响应，并比较了其在电感测定 MS 和 Meff 方面的适用性。未来将此类探头集成到晶圆探针台中，有望实现磁性薄膜和多层膜关键静磁及动态材料参数的晶圆尺度在线测试。
引用
@article{arxiv.1310.6578,
title = {Towards wafer scale inductive determination of magnetostatic and dynamic parameters of magnetic thin films and multilayers},
author = {Sibylle Sievers and Niklas Liebing and Paul Nass and Santiago Serrano-Guisan and Massimo Pasquale and Hans Werner Schumacher},
journal= {arXiv preprint arXiv:1310.6578},
year = {2013}
}