迈向全集成光学位移传感器

光学计量领域以其高精度位置、旋转和波前传感器构成了光刻和高分辨率显微技术的基础。然而，片上集成——一项与未来纳米技术器件高度相关的任务——需要通过采用新概念来减小传感方案的空间占用面积。实现这一目标的一条有希望的途径是基于光的最基本最小发射体（即偶极子）的可控定向发射作为指示。在此，我们实现了一种基于在单个偶极子天线中激发的 Huygens 偶极子定向发射的集成位移传感器。天线相对于激发场的位置决定了其与光子晶体波导六路交叉结构的定向耦合。在我们由理论计算支持的实验研究中，我们展示了集成位移传感器的首个原型，在室温和环境条件下，其位置精度的标准差低于 $\lambda$/300。