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CMOS 图像传感器的三维宽带 FDTD 光学仿真

光学 2023-10-17 v1 仪器与探测器

摘要

本文给出了应用于 CMOS 图像传感器的严格电磁宽带仿真结果以及实验测量。我们首先比较了 1.75μ\mum CMOS 图像传感器在可见光范围(380nm-720nm)的 1D、2D 和 3D 宽带仿真结果,强调了 1D 与 2D 仿真的局限性以及 3D 建模的必要性,特别是用于严格仿真如量子效率等参数。随后我们通过两种改进传感器光谱响应的方案来说明宽带仿真:抗反射涂层与光学叠层减薄。最后我们表明实验测量结果与所述仿真结果一致。

关键词

引用

@article{arxiv.2310.10302,
  title  = {Three-dimensional broadband FDTD optical simulations of CMOS image sensor},
  author = {A. Crocherie and Jérôme Vaillant and F. Hirigoyen},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2310.10302},
  year   = {2023}
}