VIRMOS 掩模制造工具：(b) 掩模制造与处理
天体物理学
2007-05-23 v1
摘要
我们描述了 VIRMOS 掩模制造单元 (MMU) 的配置，该配置由两个单元组成：掩模制造机（及其控制单元）和掩模处理单元（包括控制单元、存储柜和用于装载仪器柜的机器人）。对于 VIMOS 和 NIRMOS 仪器，基于由掩模准备软件 (见同一论文丛刊中的论文 (a)) 收到的订单，MMU 的功能是执行离线掩模切割和识别，然后进行掩模储存及其随后装入仪器柜 (IC)。我们描述了 LPKF 激光切割机的特征以及支持该设备选择的工作。我们还描述了剩余的硬件配置和掩模处理软件。
引用
@article{arxiv.astro-ph/9907322,
title = {The VIRMOS mask manufacturing tools: (b) Mask manufacturing and handling},
author = {G. Conti and L. Chiappetti and E. Mattaini and D. Maccagni and O. Le Fevre and M. Saisse and G. Vettolani},
journal= {arXiv preprint arXiv:astro-ph/9907322},
year = {2007}
}
备注
10 p[ages, 3 figures, to be published in sait 99 proceedings