一种用于多层微流控器件制备的紧凑型低成本低维护开放式架构掩模对准器
应用物理
2018-08-23 v1 仪器与探测器
摘要
我们构建了一台定制掩模对准器（CBMA），其从根本上涵盖了商用掩模对准器的所有关键特性，同时具有低成本、轻量、低功耗和高精度的特点。CBMA由定制高保真LED光源、真空吸盘与掩模夹具、高精度平移与旋转台以及高分辨率数码显微镜组成。该系统总成本低于7500美元，比同类商用系统便宜十倍以上。其在标准4英寸晶圆面积上、于光刻胶曝光平面处产生1.8-2.0 mW cm-2的准直紫外照明；对准精度经表征优于3微米，足以满足大多数微流控应用。此外，本手稿详细描述了使用我们的CBMA制备多层母模所需流程。最后，通过制备生物微流控应用中常见的两层和三层微尺度器件母模，展示了CBMA的能力：前者为无流化学梯度生成器，后者为可寻址微流控模板。使用扫描电子显微镜确认母模包含不同高度的预期特征。
引用
@article{arxiv.1802.07815,
title = {A Compact Low-Cost Low-Maintenance Open Architecture Mask Aligner for Fabrication of Multilayer Microfluidics Devices},
author = {Quang Long Pham and Nhat-Anh N. Tong and Austin Mathew and Roman S. Voronov},
journal= {arXiv preprint arXiv:1802.07815},
year = {2018}
}