高数值孔径低像差双凸微透镜阵列的设计与制备
其他计算机科学
2008-12-18 v1
摘要
微透镜阵列在各种光学和电子应用中至关重要，尤其需要具有高数值孔径 (NA) 和低像差的微透镜阵列。本研究旨在设计并制备一种结构简单的微透镜阵列，同时保持与同直径半球透镜相同的数值孔径。首先设计并分析了一种由 PDMS 制成的双凸半球形微透镜阵列，其相应数值孔径为 0.379。随后通过热回流工艺实验制备了该设计的微透镜阵列。将形成的轮廓溅射铜以作为模具。通过将 PDMS 电镀到模具上制备前部和后部微透镜阵列，然后组装形成设计的微透镜阵列。
引用
@article{arxiv.0805.0903,
title = {Design And Fabrication of High Numerical Aperture And Low Aberration Bi-Convex Micro Lens Array},
author = {Jhy-Cherng Tsai and Ming-Fong Chen and Hsiharng Yang},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0903},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)