面向金属-衬底界面的简易共面波导谐振器掩模
量子物理
2022-04-18 v1 应用物理
摘要
本白皮书介绍了一款单层掩模，可在 https://github.com/Boulder-Cryogenic-Quantum-Testbed/simple-resonator-mask 获取。其设计用于制造超导微波谐振器，以对金属-衬底界面的介电损耗进行 1:1 比较。采用有限元电磁仿真确定了片上器件四个主要区域的参与比，并确认相邻器件间无串扰，且耦合可调性跨越三个数量级。该掩模旨在作为开源社区资源，用于在单光子、毫开尔文 regime 下促进材料的精确与准确比较。
引用
@article{arxiv.2204.07202,
title = {Simple coplanar waveguide resonator mask targeting metal-substrate interface},
author = {Cameron J. Kopas and Ella Lachman and Corey Rae H. McRae and Yuvraj Mohan and Josh Y. Mutus and Ani Nersisyan and Amrit Poudel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2204.07202},
year = {2022}
}