晶体结构在双组元单晶靶溅射中的效应
材料科学
2018-12-12 v1
摘要
本文利用分子动力学计算机模拟研究了单晶 VSi2 (0001) 面在离子轰击下组元原子的前向溅射。计算了由相同质量但分别位于 V 和 Si 子晶格格点的原子构成的虚拟单晶 VV2 和 SiSi2 在离子轰击下组元原子的溅射。研究了双组元靶选择性溅射中的一个新效应：在组元原子质量相等且表面结合能相等的条件下，位于钒晶格格点的原子优先发生前向溅射。此效应可称为 VSi2（C40 型）复杂晶格中组元晶格格点非同一性对碰撞级联中动量传播的影响效应，即双组元单晶靶选择性溅射中的结构效应。关键词：溅射，离子透射，选择性溅射，透射溅射，双组元靶，VSi2，薄单晶膜。
引用
@article{arxiv.1812.04310,
title = {The effect of crystal structure in sputtering of two-component single crystal targets},
author = {V. N. Samoilov and N. G. Ananieva},
journal= {arXiv preprint arXiv:1812.04310},
year = {2018}
}
备注
18 pages, 4 figures (in Russian)