超声速团簇束制备具有多层电互连的可拉伸键盘并与纸基柔性器件集成
应用物理
2017-06-28 v1 仪器与探测器
摘要
基于软聚合物衬底的可拉伸与柔性电子器件的发展，需要在无源和有源电子元件的设计、制备、集成和封装方面采用新方法。本文展示了一种基于超声速团簇束注入和沉积技术的系统制备，该系统由一个用PDMS制成的可拉伸键盘组成，该键盘通过纸基互连与印刷在纸上的触摸传感器和LED矩阵相连。可拉伸键盘具有导电通孔，用于电连接顶层和底层。印刷在纸上的金导电薄膜用于连接键盘与驱动LED矩阵的电子元件。
引用
@article{arxiv.1706.08586,
title = {Supersonic Cluster Beam Fabrication of a Stretchable Keyboard with Multilayer Electrical Interconnects Integrated with Paper-based Flexible Devices},
author = {Andrea Bellacicca and Paolo Milani},
journal= {arXiv preprint arXiv:1706.08586},
year = {2017}
}