在 SU-8 上通过超音速团簇束沉积制造的柔性生物相容性微电极阵列
材料科学
2015-05-20 v1
摘要
我们通过超音速团簇束沉积 (SCBD) 在 SU-8 上制造了高粘附性与导电性的微图案。该技术基于对气相中产生的中性金属纳米颗粒进行加速。纳米颗粒获得的动能使其能够植入 SU-8 层中，从而形成金属-聚合物纳米复合薄层。该纳米复合材料表现出欧姆导电性，并且也可作为进一步金属化覆层的粘附层。我们表征了通过 SCBD 在 SU-8 上获得的微器件的导电性、粘附性和生物相容性，证明了我们的方法与 4 英寸晶圆上的标准剥离技术相兼容。我们制造了自支撑且柔性的微电极阵列。使用神经元细胞系的细胞学测试表明，细胞生长得到改善，且细胞在纳米复合层上发生自发聚集。
引用
@article{arxiv.1010.1296,
title = {Flexible and biocompatible microelectrode arrays fabricated by supersonic cluster beam deposition on SU-8},
author = {Mattia Marelli and Giorgio Divitini and Cristian Collini and Luca Ravagnan and Gabriele Corbelli and Cristian Ghisleri and Antonella Gianfelice and Cristina Lenardi and Leandro Lorenzelli and Paolo Milani},
journal= {arXiv preprint arXiv:1010.1296},
year = {2015}
}
备注
16 pages, 8 figures. Submitted to Journal of Micromechanics and Microengineering