多层氟聚合物薄膜在低电压电润湿中的卓越性能
软凝聚态物质
2011-10-19 v1
摘要
电润湿器件对低工作电压的要求通常通过使用薄介电层来实现，但这往往伴随着严重的材料失效问题。介电击穿（表现为电解）经常在接触角饱和 onset 之后稍远处频繁出现。此处，采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 在四乙氧基硅烷 (TEOS) 基底上旋涂 Teflon\textregistered 无定形氟聚合物之前沉积薄氟碳薄膜。所得的多层疏水顶层涂层提高了堆栈的电润湿性能，表现为在高施加电压以及直流和交流电压的连续长期施加下对介电击穿具有高抵抗力。在使用所提出的复合涂层进行的电润湿实验中的漏电流测量表明，与普通 Teflon\textregistered 涂层相比，电流在连续的电润湿测试中保持相当恒定，而在普通 Teflon\textregistered 涂层中，多次电润湿测试后漏电流的逐渐增加表明材料发生了降解。由于所提出的复合涂层即使在薄配置下也表现出对材料失效和介电击穿的更强抵抗力，将其集成到电润湿器件中可能会影响其可靠性、鲁棒性和寿命。
引用
@article{arxiv.1110.4075,
title = {Superior performance of multilayered fluoropolymer films in low voltage electrowetting},
author = {Dimitrios P. Papageorgiou and Angeliki Tserepi and Andreas G. Boudouvis and Athanasios G. Papathanasiou},
journal= {arXiv preprint arXiv:1110.4075},
year = {2011}
}