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结合多个可见光波长干涉图相位的远紫外等效波长超分辨干涉测量术

光学 2018-04-04 v1

摘要

提出了一种远紫外(FUV)等效波长超分辨干涉测量技术。该 FUV 等效波长干涉测量方法结合了来自四组时间可见光干涉图的四组解调相位。此处 FUV 超分辨干涉测量定义为对来自 FUV 等效波长照明激光的调制相位的估计。为此,我们需要结合四个可见光波长干涉图的解调相位。FUV 等效波长的相位灵敏度当然超出了单个可见光波长干涉图的相位信息容量。为打破该可见光波长壁垒,我们利用可见光范围内四个或更多干涉图提供的相位信息。得到四个解调相位后,我们计算相位差与四相位之和,后者即为 FUV 等效超分辨相位。相位差处于红外相位灵敏度范围且假定为未包裹的。另一方面,相位和处于 FUV 相位灵敏度范围且高度包裹。如本文所示,利用相位差和我们先前报道的扩展范围两步时间相位解包裹器,可以在时间域中对相位和进行解包裹。当然,通过增加来自可见光波长干涉图的独立估计相位的数量,可以获得高于 FUV 等效相位灵敏度的干涉测量。据我们所知,这种 FUV 等效波长超分辨干涉测量技术是迄今为止报道过的具有最高相位灵敏度和最高信噪比的技术。

关键词

引用

@article{arxiv.1704.04700,
  title  = {Super-resolution far-ultraviolet equivalent-wavelength interferometry combining the phase of several visible-wavelength interferograms},
  author = {Manuel Servin and Moises Padilla and Guillermo Garnica},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1704.04700},
  year   = {2018}
}

备注

7 pages, 0 figures