SU-8 夹持的 CVD 石墨烯鼓形谐振器
介观与纳米尺度物理
2016-12-14 v1
摘要
石墨烯力学谐振器是终极的二维纳米机电系统（NEMS），在传感和信号处理领域具有广泛应用。尽管初期器件已展现出有前景的结果，但理想的石墨烯 NEMS 谐振器应经过应变工程调控、在边缘处被夹持且下方无气体残留，并能够实现电学集成。在本快报中，我们展示了圆形 SU-8 聚合物夹持的化学气相沉积（CVD）石墨烯鼓形谐振器的制备与直接电学测量。这种夹持方式提高了器件成品率和响应度，同时因消除了边缘模式而提供了更干净的共振谱。此外，该谐振器具有高应变，表明其在通过应变工程提升性能方面具有潜力。
引用
@article{arxiv.1612.04279,
title = {SU-8 clamped CVD graphene drum resonators},
author = {Sunwoo Lee and Changyao Chen and Vikram V. Deshpande and Gwan-Hyoung Lee and Ilkyu Lee and Michael Lekas and Alexander Gondarenko and Young-Jun Yu and Kenneth Shepard and Philip Kim and James Hone},
journal= {arXiv preprint arXiv:1612.04279},
year = {2016}
}
备注
15 pages, 5 figures