用于最小化氧化物分子束外延环境中源氧化的简易自吸气差动泵
材料科学
2011-06-06 v1 仪器与探测器
摘要
在氧化性环境中，诸如 Ca、Sr、Ba 和 Ti 等易氧化元素的源氧化会导致其束流不稳定，这是多元素氧化物分子束外延技术中最大的问题之一。在此，我们报告一种能够完全消除源氧化问题的新方案：一种利用源本身作为抽气介质的自吸气差动泵。该泵仅由一个安装在扩展端口几何结构中的、位于源前方的长准直器组成。通过这种布置，源附近的氧分压很容易维持在远低于源氧化阈值的水平，从而产生可与超高真空环境相媲美的稳定束流。此外，该泵具有一种自反馈机制，对于更易氧化的元素能提供更强的抽气效果，这是消除源氧化问题所需的一种理想特性。
引用
@article{arxiv.1106.0677,
title = {Simple self-gettering differential-pump for minimizing source oxidation in oxide-MBE environment},
author = {Yong-Seung Kim and Namrata Bansal and Seongshik Oh},
journal= {arXiv preprint arXiv:1106.0677},
year = {2011}
}
备注
16 pages, 4 figures, http://link.aip.org/link/?JVA/29/041505