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基于原子吸收光谱的自校正传感器用于分子束外延中的原子通量测量

材料科学 2015-06-19 v1

摘要

设计并实现了一种基于原子吸收光谱的高灵敏度原子通量传感器,用于控制分子束外延系统中的电子束蒸发器和克努森盒。该装置采用高分辨率光谱仪和二维电荷耦合器件探测器,构成双光路配置;我们利用同一空心阴极灯发出的非共振线或低截面共振线作为参考,以实现近乎完美的背景校正和基线漂移消除。与其他传感器技术相比,该设置显著缩短了所需的预热时间,并大幅降低了来自周围环境的噪声。此外,高分辨率光谱仪能够隔离最灵敏的共振线,从而提供卓越的信噪比。

关键词

引用

@article{arxiv.1404.4102,
  title  = {Self-corrected sensors based on atomic absorption spectroscopy for atom flux measurements in molecular beam epitaxy},
  author = {Y. Du and T. C. Droubay and A. V. Liyu and G. Li and S. A. Chambers},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1404.4102},
  year   = {2015}
}