用于制备纳米级精度高性能金刚石传感器阵列的自对准图形化技术
应用物理
2022-03-18 v1 光学
量子物理
摘要
以纳米级精度高效地将缺陷中心与光子结构对准，是实现高性能光子器件以及在量子传感、可扩展量子系统和量子计算网络等量子技术中应用的主要挑战之一。在此，我们提出一种完全基于传统工程技术的简便自对准图形化技术，其掺杂精度可达约15 nm。具体而言，我们通过制备金刚石纳米柱传感器阵列来演示该技术，其表现出高度一致性、接近最优的光子计数、接近理论极限的高成品率，以及对不同NV中心的高滤波效率。结合适当的晶体取向，实现了4.65 Mcps的饱和荧光速率和已报道的最佳荧光依赖检测灵敏度1900 cps^(-1/2)。该技术适用于所有类似的固态系统，应能促进并行量子传感和可扩展信息处理的发展。
引用
@article{arxiv.2203.09320,
title = {Self-aligned patterning technique for fabricating high-performance diamond sensor arrays with nanoscale precision},
author = {Mengqi Wang and Haoyu Sun and Xiangyu Ye and Pei Yu and Hangyu Liu and Jingwei Zhou and Pengfei Wang and Fazhan Shi and Ya Wang and Jiangfeng Du},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.09320},
year = {2022}
}