利用通用器件编码与图注意力网络革新 TCAD 仿真

提出了一种利用人工智能（AI）与图表示在 TCAD 器件仿真中进行半导体器件编码的创新方法。给出了一种基于图的通用编码方案，其不仅考虑材料级与器件级嵌入，还引入了受有限元网格划分中常用插值操作启发的新型空间关系嵌入。利用器件仿真中的通用物理定律进行全面的数据驱动建模，涵盖基于漂移—扩散模型的代理 Poisson 仿真与电流—电压（IV）预测。二者均通过使用一种称为 RelGAT 的新型图注意力网络实现。给出了基于器件仿真器 Sentaurus TCAD 的详尽技术细节，使研究者能够在器件级采用所提出的 AI 驱动电子设计自动化（EDA）方案。