利用波长扫描 interrogation 的外腔式法布里-珀罗干涉位移传感器的分辨率极限
光学
2019-04-25 v1
摘要
研究了基于外腔式法布里-珀罗干涉仪（EFPI）的位移传感器分辨率的限制因素。建立了一个解析模型，给出 EFPI 分辨率对光学装置参数与传感器 interrogator 参数的依赖关系。所提模型使人既能估算给定装置可达成的可能分辨率极限，也能推导为达到所需传感器分辨率所必需的光学元件和/或传感器 interrogator 的要求。进行了支持解析推导的实验，展示了大动态测量范围（腔长从数十微米至 5 mm）、高基准分辨率（自 14 pm 起）以及与模型良好吻合。
引用
@article{arxiv.1904.10779,
title = {Resolution limits of extrinsic Fabry-Perot interferometric displacement sensors utilizing wavelength scanning interrogation},
author = {Nikolai Ushakov and Leonid Liokumovich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1904.10779},
year = {2019}
}
备注
7 pages, 5 figures