测量法布里-珀罗干涉仪腔缺陷的新技术

（删节版）：我们定义并测试了一种新技术，用于精确测量空气间隔法布里-珀罗干涉仪（FPI）的腔缺陷，包括天文观测中典型的光谱调谐过程所引起的畸变。我们进一步开发了一种校正技术，以在光谱扫描过程中尽可能保持腔形状恒定。这些是使用一个或多个 FPI 优化二维光谱仪光谱透射轮廓的必要步骤。我们设计了一种将所谓相移干涉测量术所开发的技术推广到 FPI 情形下的方法。该技术适用于任何可通过改变腔间距（$z$ 轴）进行调谐的 FPI，并且可用于任何镀膜反射率的标准具。我们方法的主要优势是能够在光谱扫描期间完整表征腔体，从而确定平板随扫描发生的变化。作为测试，我们将该技术应用于三个直径为 50 mm、腔隙在 600 微米至 3 mm 之间、为可见光波段镀膜的干涉仪。我们获得了空气间隔 FPI 腔缺陷及其在整个光谱扫描过程中演变的准确可靠测量。我们主要且出乎意料的结果是，两个 FPI 平板之间的相对倾斜在光谱扫描期间变化显著，并可能主导腔缺陷；特别地，我们观察到扫描两端处的倾斜分量明显大于扫描中心处。利用电子控制器能够在任意给定光谱步长设置参考平面的能力，我们开发了一种校正技术，可在完整光谱扫描期间最小化倾斜。该校正长期高度稳定，远超过天文观测的典型持续时间。