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低温下熔融淬火 Ge2Sb2Te5 相变存储线单元的电阻漂移

应用物理 2024-01-11 v1

摘要

我们通过对 20 nm 厚、~70-100 nm 宽的横向 Ge2Sb2Te5(GST)线单元进行测量,表征了相变存储器件在 80 K 至 300 K 温度范围内的电阻漂移。使用脉宽 ~50-100 ns、幅度 1.5-2.5 V 的脉冲对单元进行非晶化,产生 ~0.4-1.1 mA 的峰值复位电流,导致非晶化长度在 ~50 至 700 nm 之间。非晶化单元的电阻漂移系数通过恒定电压测量计算得出,测量最快在非晶化后一秒内开始,持续 1 小时。漂移系数在 ~0.02 至 0.1 范围内,具有显著的器件间差异和测量期间的变化。在较低温度(较高电阻状态)下,一些器件表现出复杂的动态行为,电阻在秒级周期内反复显著增加和减小。

关键词

引用

@article{arxiv.2401.04909,
  title  = {Resistance Drift in Melt-Quenched Ge2Sb2Te5 Phase Change Memory Line Cells at Cryogenic Temperatures},
  author = {A B M Hasan Talukder and Md Tashfiq Bin Kashem and Raihan Khan and Faruk Dirisaglik and Ali Gokirmak and Helena Silva},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2401.04909},
  year   = {2024}
}