利用双极结型晶体管的新型电路压力传感器
应用物理
2021-12-15 v1 仪器与探测器
摘要
我们开发了用于不同量程（1 至 60 kPa）的高灵敏度 MEMS 压力传感器芯片，其利用带负反馈环的压敏差分放大器（PDA-NFL）新型电路。压力传感器芯片 PDA-NFL 采用两个垂直 n-p-n 型结构（V-NPN）的双极结型晶体管（BJT）和八个压阻电阻（p 型）。给出了传感器对压力与温度响应的理论模型及实验数据。数据证实了理论模型的适用性。引入该放大器可在保持与经典惠斯通电桥电路芯片相同灵敏度的同时减小芯片尺寸。
引用
@article{arxiv.2112.07211,
title = {Pressure Sensor with New Electrical Circuit Utilizing Bipolar Junction Transistor},
author = {M. Basov},
journal= {arXiv preprint arXiv:2112.07211},
year = {2021}
}
备注
4 pages, 5 figures, 3 tables, 41 references