二维InAs纳米鳍的生长后塑形与输运各向异性
介观与纳米尺度物理
2023-05-16 v1 材料科学
摘要
我们报道了通过选择性区域外延生长并机械转移至独立衬底用于器件制备的自由站立二维InAs纳米鳍的生长后塑形。我们使用基于柠檬酸的湿法刻蚀实现复杂形状（如范德堡四叶草结构），图案分辨率达150 nm，并可对纳米鳍部分减薄以改善栅极响应。我们利用四叶草结构对输运各向异性的高灵敏度，探讨二维InAs纳米结构中是否因纤锌矿/闪锌矿多型性产生可测输运各向异性的基本问题。我们展示了由纳米鳍中多型堆垛缺陷引起的室温迁移率各向异性约为2-4。我们的工作凸显了采用先进外延方法的自组装二维III-V纳米结构器件中一个关键的材料考量。
引用
@article{arxiv.2305.08309,
title = {Post-growth shaping and transport anisotropy in 2D InAs nanofins},
author = {J. Seidl and J. G. Gluschke and X. Yuan and H. H. Tan and C. Jagadish and P. Caroff and A. P. Micolich},
journal= {arXiv preprint arXiv:2305.08309},
year = {2023}
}