硅光子芯片上环形高斯光束共振腔的平面波导设计

本文描述并表征了一种用于全通和添加- dropping configurations的硅斜波导共振腔设计，其中的环形高斯类似腔模式。该循环光束在无侧向约束的斜波导中传播。三个直镜和一个曲面镜构成折叠的二维高斯腔。通过由狭缝形成的光束分离器将光耦合到和从共振腔中，耦合由狭缝宽度决定，具有波长无关且无损耗的特性。对于路径长度为100 μm的腔，测得的共振线宽为5 pm，品质因数Q值为310000。共振腔的drop光谱显示出跨越100 nm调谐范围内 nearly 相同的共振线的梳状分布。该共振腔设计具有宽带工作能力，当与由狭窄单模波导构成的硅环形结构相比，较少受侧壁粗糙度和缺陷散射引起的损耗和模式分裂的影响。