基于 PET 衬底上 CVD 生长 ZnO 纳米线的压阻式压力传感器
仪器与探测器
2023-07-27 v1 材料科学
应用物理
摘要
电子材料与器件领域近期的发展吸引了研究者对柔性及可印刷电子元件（如有机晶体管、可印刷电极与传感器）的兴趣。氧化锌（ZnO）纳米线（NWs）除具有较大压电系数外，还具备高迁移率、大激子束缚能及直接带隙等诸多优异性质。本文报道基于覆有氧化铟锡（ITO）的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）衬底的柔性压阻传感器。该器件在从平整弯曲至 95 度、施加 5V 偏压时，电阻从 100 {\Omega} 变化至 2.4 K{\Omega}，表现出灵敏度。该一维纳米线柔性器件在平整状态下呈现饱和输出电流。我们观察到相较既往报道增强十倍的变化量。实验中观测到灵敏度提升，源于 CVD 生长纳米线缺陷更少，而其他工作采用水热生长纳米线。本文报道的器件制备方法耗时更短，并可实现高效器件以用于柔性及可穿戴技术。
引用
@article{arxiv.2307.13805,
title = {Piezo-resistive pressure sensor based on CVD-grown ZnO nanowires on Polyethylene Tetrathalate substrate},
author = {Manisha Kumari and Rakesh K. Prasad and Manish K. Singh and Parameswar K. Iyer and Dilip K. Singh},
journal= {arXiv preprint arXiv:2307.13805},
year = {2023}
}
备注
24 pages, 5 figures