基于带宽拓宽的 AlN 多频 PMUT 的光声成像
医学物理
2022-04-04 v2
摘要
本文报道了一种用于光声（PA）成像的氮化铝（AlN）多频压电微机械超声换能器（MF-PMUT）阵列，其中拓宽的带宽有利于提高成像分辨率。具体而言，基于微机电系统（MEMS）技术的 PMUT 因其微型尺寸适用于血管和支气管的 PA 内窥成像。更重要的是，AlN 是一种无毒材料，使其在生物医学应用中无害。本工作中，设计并制备了用于光声成像（PAI）的 MF-PMUT 阵列。分析了该器件的振动模态阻抗与带宽。该 MF-PMUT 传感器提供了更宽带宽（65%）的信号检测，与传统 PMUT 相比提高了 PAI 的分辨率。我们在琼脂样品上进行了实验以展示传感器在图像轴向分辨率方面的性能。
引用
@article{arxiv.2203.16806,
title = {Photoacoustic Imaging Based on AlN MF-PMUT with Broadened Bandwidth},
author = {Junxiang Cai and Yiyun Wang and Daohuai Jiang and Yuandong and Gu and Liang Lou and Fei Gao and Tao Wu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.16806},
year = {2022}
}