叠层衍射成像中的参数反演方法
图像与视频处理
2020-11-03 v2 光学
摘要
我们提出了一种结合叠层衍射成像（ptychography）与关于物体的额外先验知识的参数反演方法。所提方法应用于两个场景：（1）由傅里叶叠层暗场测量对小颗粒进行参数反演；（2）由实空间叠层衍射成像对矩形进行参数反演。本文第二部分讨论了泊松噪声的影响。我们计算了两种应用中的克拉美罗下界（Cramér Rao Lower Bound），并使用蒙特卡洛分析验证所计算的下界。根据计算结果，我们给出了不同噪声水平下的下界以及应用1中颗粒间的相关性。对于应用2，讨论了矩形各参数间的相关性。
引用
@article{arxiv.2009.01652,
title = {Parameter retrieval methods in ptychography},
author = {Xukang Wei and H. Paul Urbach and Peter van der Walle and Wim M. J. Coene},
journal= {arXiv preprint arXiv:2009.01652},
year = {2020}
}