基于静态和动态测量的压力传感器参数辨识
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
研究了压力传感器的快速辨识方法。为了实现完整准确的传感器参数辨识，结合了两种不同的测量方法。该方法一方面进行静态测量——施加的压力导致膜片变形（通过干涉测量法测量）及相应的输出电压；另一方面进行传感器膜片模态响应的光学测量。这些信息被用于逆辨识算法中，以基于有限元（FE）模型辨识几何和材料参数。待辨识参数的数量通常仅受可测量模态频率数量的限制。对辨识结果的定量评估还可以对刻蚀误差等加工误差进行分类。本文将基于相对压力传感器的参数辨识，讨论关于膜厚、内应力和输出电压的算法及辨识结果。
引用
@article{arxiv.0802.3055,
title = {Parameter Identification of Pressure Sensors by Static and Dynamic Measurements},
author = {S. Michael and S. Kurth and J. Klattenhoff and H. Geissler and S. Hering},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3055},
year = {2008}
}
备注
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