优化定向自组装形貌
软凝聚态物质
2013-08-06 v1
摘要
嵌段共聚物的定向自组装正迅速成为纳米特征光刻图案化的一种可行策略。定向自组装的关键属性之一是，用于引导组装的底层化学或地形衬底图案无需与目标嵌段共聚物形貌直接对应，而过去的工作主要依赖试错法来设计合适的图案。在本工作中，提出了一种计算进化策略来解决这一优化问题。通过结合用于寻找平衡形貌的 Cahn-Hilliard 方程和用于优化特定衬底 - 共聚物组合综合结果的协方差矩阵进化策略，我们获得了一种高效的设计衬底的方法，从而能够产生非平凡且理想的成果。
引用
@article{arxiv.1308.0622,
title = {Optimizing directed self-assembled morphology},
author = {Jian Qin and Gurdaman S. Khaira and Yongrui Su and Grant P. Garner and Marc Miskin and Heinrich M. Jaeger and Juan J. de Pablo},
journal= {arXiv preprint arXiv:1308.0622},
year = {2013}
}
备注
9 pages, 8 figures