用于电子背散射衍射分析的锆合金-4宽离子束抛光优化
材料科学
2022-03-31 v2 应用物理
摘要
采用电子背散射衍射（EBSD）的显微结构分析需要切片与抛光以制备平整且无制备伪影的表面。EBSD 分析的质量常取决于此步骤，这促使我们探索宽离子束（BIB）铣削如何针对具有不同晶粒尺寸的锆合金-4的制备进行优化。我们系统地探究了离子束角度、离子束电压、抛光时长与抛光温度的作用，以及它们如何改变表面粗糙度与标定质量。我们的结果提供了一种常规制备高质量锆合金-4表面的方法，以及针对其他材料优化 BIB 抛光以进行高质量 EBSD 研究的方法。
引用
@article{arxiv.2201.02501,
title = {Optimizing broad ion beam polishing of zircaloy-4 for electron backscatter diffraction analysis},
author = {Ning Fang and Ruth Birch and T. Ben Britton},
journal= {arXiv preprint arXiv:2201.02501},
year = {2022}
}
备注
as submitted, after 1 round of review